eFOSB300-A

  • 符合 SEMI及FIMS (即前开接口标准)规范;
  • 适配各型自动化处理平台,减少因人为操作带来的污染;
  • 兼容自动或手动开/合;
  • 采用了超净及微外泄气体的材质;
  • 为晶圆提供 高效,可靠,持久的 洁净环境;
    预装PURGE阀门,在前门闭合的情况下 也可实现对内腔的净化。
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晶圆运输和承载目录

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